研磨液供應機台
Slurry Dispense System,SDS
宸沅國際提供晶圓廠、封測等工業高精準度快速混酸及供應系統，可適用於化學機械平坦化(CMP）各項製程使用例如Oxide、Poly、Tungsten、Cu、Al CMP等。研磨液為研磨顆粒(abrasive)和化學添加劑的混合物，研磨顆粒主要成分是二氧化矽，二氧化鋁和氧化鈰，其中的化學添加劑則要根據實際情況加以選擇，宸沅的化學機械研磨液供應機台可依照不同研磨液需求調整SDS的設計，或依特殊需求訂製客製化系統。
化學供應機台
Chemical Dispense System,CDS
宸沅國際提供晶圓廠、封測、食品與製藥等工業之高精準度與穩定的特用化學品供應系統整合建構方案，或亦可依客戶特殊需求訂製客製化系統，以期與客戶於研發、量產、擴產等各階段提供優質且專業的服務，共創雙贏。
我司有業界豐富的先進廠房建廠經驗，在融合創新的設計元素下建造特有的化學品供應設備。
小型化研磨液供應機台
RD Slurry Dispense System,RD SDS
可適用於化學機械平坦化(CMP)各項製程使用例如Oxide、Poly、Tungsten、Cu、Al等，可同時提供2~6種研磨液研發測試，也可依特殊需求訂製客製化系統。
